打破行业壁垒，魅杰光电光学关键尺寸量测设备成功出货

7月8日，临港科创园区重点引进的半导体装备企业魅杰光电科技（上海）有限公司（以下简称“魅杰光电”），在园区的大力支持下，通过主动研发、积极探索，成功出货了国内首台应用于滤波器行业的光学关键尺寸量测设备

在国外关键部件禁运的形势下，目前业内普遍采用的是CD SEM进行测试，一台设备售价高达上千万，并且电子对测量样品的损伤很大，尤其是光刻后的测试。魅杰光电OCD检测设备的交付，对于打破行业壁垒，填补国内技术空白有着重要意义，在极大提升检测效率的同时进一步降低了检测成本，为中国半导体芯片制造企业提供更先进高效的检测解决方案。魅杰光电计划在未来1年内推出更先进的第三代化合物半导体无图缺陷检测以及应用于90/65nm制程的CD量测机台，向国际一流半导体装备企业迈进。