AIRScan系列
图形晶圆缺陷检测设备
Optical Critical Dimension Metrology instrument
光学线宽测量仪
产品简介
AIRScan系列产品采用明暗场光学成像系统、高速图像采集系统、智能化操作系统、自研高动态性能光源，为客户提供高灵敏度、高产能及高检出率的图形晶圆缺陷检测方案。
应用场景
主要应用于半导体生产制造过程中ADI，AEI，IQC，OQC等多工艺环节缺陷检测及良率评估的使用需求
产品特点
· 高灵敏度：大NA及低相差光学成像系统、高动态响应自动聚焦；
· 高适应性：灵活结构设计适应多种晶圆尺寸、正反面、扩膜环等应用场景，多种光学模式适应不同工艺场景；
· 高产能：高速图像采集、分布式并行处理架构、最优运行流程规划；
· 高智能化：AI算法实现高效准确的ADC功能、智能创建模型及配方；
· 多维数据结构：智能SPC系统准确分析及定位缺陷，对产线良率高效管理；
|
|
魅杰光电科技（上海）有限公司
联系邮箱: pr@mzsemi.com
联系电话: 18033050069（工作日9.30-18.30）
联系地址:上海市浦东新区张江路75号魅杰半导体
深圳市南山区科技园南区高新南7道清华大学研究院 C座 701
欢迎扫码关注魅杰光电科技微信公众号
提升“芯”良率，持续“芯”回报