AIRScan系列图形晶圆缺陷检测设备
Optical Critical Dimension Metrology instrument
光学线宽测量仪
产品简介
AIRScan系列产品采用明暗场光学成像系统、高速图像采集系统、智能化操作系统、自研高动态性能光源，为客户提供高灵敏度、高产能及高检出率的图形晶圆缺陷检测方案。
应用场景
主要应用在ADI、AEI等前道工艺过程检及中后道出货检，支持划片后Frame环等工艺段检测。
晶圆尺寸：4"/6"/8"兼容， 8"/12"兼容
产品特点
· 高灵敏度：大NA及低相差光学成像系统、高动态响应，激光自动实时聚焦；
· 高适应性：灵活结构设计适应多种晶圆尺寸、正反面、扩膜环等应用场景，多种光学模式适应不同工艺场景；
· 高产能：高速图像采集及传输、分布式并行处理架构；
· 高智能化：配备ADC模块，快速分类缺陷，定位品质问题；
· 多维数据结构：智能SPC数据分析软件，生产报表导出，多维数据显示，良率分析；
· 符合SEMI300标准的EAP自动化通信；
· 可搭配100um级精度宏观正检、背检、边检模组。
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