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光学线宽测量仪

Optical Critical Dimension Metrology instrument

光学线宽测量仪

Optical Critical Dimension Metrology instrument

光学线宽测量仪

魅杰光电科技开发的新一代光学关键尺寸量测产品，具备全自动量测能力，其独特的光源设计可做到真正对wafer无损，且支持不规则和多焦面自动聚焦检测。

先进的显微系统与光源模组，

量测更准确、清晰。

自研LED光源

白光

蓝光

红外光

魅杰光电科技自研开发的光源模组，体积缩小了40%，且支持白光、蓝光、红外光软件切换，特别设计的散热系统，寿命更长。

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