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键合套准精度量测设备 OVLScan A系列
图形晶圆缺陷检测设备 AIRScan系列
套刻精度量测设备 OVLScan系列
多功能关键尺寸量测(2D/3D)设备MACScan系列
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多功能关键尺寸量测(2D/3D)设备MACScan系列
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时间轴
2015年
2021年
2022年
2023年
2024年
2025年
全自动关键尺寸设备
2015年5月在上海成立
全自动缺陷检测设备
2021年搬入临港科创中心
全自动套刻设备(OVL A10)
2022年 高企及SEMI认证
用于键合及先进封装套刻设备 45nm工艺套刻设备(OVL A100)
2023年上海专精特新认证
28nm工艺套刻设备(OVLA500)
2024年生产制造中心启用
14nm工艺套刻设备(A600) 7nm套刻设备出α机(D385)
起步期
2015-2021年
创始人2006年进入半导体装备行业
从事软件及算法研发工作
发展期
2022-2023年
产品矩阵不断扩充,多型号设备批量出货
持续提升产品性能
扩张期
2024至今
相继突破28nm、14nm套刻设备
跻身国产套刻设备第一梯队
多家头部半导体厂家合作建立
发展历程
专利发明及荣誉
117
项
公开专利
72
篇
授权专利
1
篇
授权集成电路布图
10
篇
授权软著
行业首个完全知识产权量检测标准
《套刻设备验收标准及验收标准片》已经在6月份成功立项,成为国内半导体量检测行业目前规格相对较高的标准
魅杰作为主导单位,与多家行业主流单位共同完成该标准制定
标准设定后可用于校准设备、验证设备性能,进而大幅降低国产化设备通线门槛
核心团队: 由集成电路、半导体量检测行业经验丰富的首席科学家、算法专家、工艺专家、和管理人员等组成。
魅杰光电
科技(上海)有限公司
联系邮箱: pr@mzsemi.com
联系电话:
18033050069
(工作日9.30-18.30)
联系地址:
上海市浦东新区张江路75号魅杰半导体
深圳市南山区科技园南区高新南7道清华大学研究院 C座 701
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