魅杰自主研发四个系列产品满足半导体研发制造的多样化需求
套刻精度量测设备
OVLScan系列
主要应用于集成电路制造
过程中光刻工艺套刻误差
的量测。
键合套准精度量测设备
OVLScan IR系列
主要应用于双面曝光、键合
工艺以及先进封装领域的套
叠对准误差量测。
图形晶圆缺陷检测设备
AIRScan系列
主要应用在ADI、AEI等前道
工艺过程检及中后道出货检，
支持划片后Frame环等工艺
段检测。
多功能三维形貌量测设备
MACScan系列
主要应用于先进封装工艺过程
中的关键尺寸测量。
专利发明及荣誉
120项
公开专利
73篇
授权专利
2篇
授权集成电路布图
多项
PCT专利
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OVLScan SEMI认证
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AIRScan SEMI认证
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ISO9001质量管理体系认证
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ISO9001 EN
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集成电路布图登记证书1
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集成电路布图登记证书2
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半导体IBO套刻设备验收规范T/SICA 008-2025
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魅杰半导体设备（无锡）有限公司
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