魅杰光电科技（上海）有限公司是一家以先进光学和计算机图形图像技术为基础，为半导体晶圆制造提供工艺控制与良率管理相关的量检测装备企业。公司提供基于光学设计、图像处理、算法分析以及运动控制等技术在内的光、机、电、算、软一体化半导体量检测解决方案。公司产品主要涵盖套刻精度量测、全自动有图晶圆缺陷检测、无图形晶圆缺陷检测、关键尺寸量测、全场式接近曝光机等五大类别。
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光学线宽测量仪
套刻精度检测仪
晶圆缺陷自动检测仪
非接触式曝光机
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MACScan
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OVLScan
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AIRScan
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Litho
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魅杰光电科技（上海）有限公司
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